無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)定義

Class X (at Y μm )

其中X是無(wú)塵車間的等級(jí)，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復(fù)選。意思就是使用者規(guī)定，該無(wú)塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級(jí)的限度。

以下是幾個(gè)例子：

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

在Classes 100 (M3.5) and Greater ?(Class 100，1000，10000....)，一般看一個(gè)粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) ?(Class 10，1.... )，一般要看多幾個(gè)粒徑。

**個(gè)是規(guī)定無(wú)塵車間的狀態(tài)，例如：

Class X (at Y μm )，At-rest

第三個(gè)是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時(shí)無(wú)塵車間都很干凈，微?？刂颇芰y(cè)試不易，這時(shí)可以干脆把驗(yàn)收上限壓低，例如：

Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built

Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built

這樣做的目的是確保無(wú)塵車間在Operational狀態(tài)時(shí)，依然有足夠的微?？刂颇芰?。

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二、無(wú)塵車間等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)劃分

潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO14644根據(jù)懸浮粒子濃度這個(gè)**指標(biāo)來(lái)劃分潔凈室（區(qū)）及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級(jí)，并且僅考慮粒徑限值（低限）0.1um～0.5um范圍內(nèi)累計(jì)分布的粒子群。根據(jù)粒子徑，可以劃分為常規(guī)粒子（0.1um～0.5um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。

空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)：ISO14644-1（國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)）

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有很多用戶一般不太清楚哪個(gè)等級(jí)的無(wú)塵車間*干凈，是千級(jí)或者萬(wàn)級(jí)嗎？不是的，要說(shuō)*干凈的無(wú)塵車間要當(dāng)屬百級(jí)無(wú)塵車間了。一般來(lái)說(shuō)無(wú)塵車間根據(jù)潔凈等級(jí)劃分可以分為：百級(jí)無(wú)塵車間、千級(jí)無(wú)塵車間、萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間、十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間。級(jí)別越低、潔凈度等級(jí)越高。

各個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間應(yīng)用如下

十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間：十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間可用于很多的工業(yè)部門，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這**無(wú)塵車間。

萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間：萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間常用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。

千級(jí)無(wú)塵車間：這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測(cè)試，裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等。

百級(jí)無(wú)塵車間：百級(jí)無(wú)塵車間可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等，這**別無(wú)塵車間大量應(yīng)用于植入體內(nèi)物品的制造，如外科手術(shù)，包括移植手術(shù)，集成器的制造，那些對(duì)**感染特別敏感的病人的隔離**，比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離**。

無(wú)塵車間清潔

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一、所需清潔工具及產(chǎn)品

（1）、潔凈室專用吸塵器

（2）、潔凈紙、無(wú)塵布

（3）、去離子水

（4）、酒精

（5）、水桶

（6）、拖把

（7）、拖把專用桶

二、清潔要求

（1）、清潔潔凈室內(nèi)的墻時(shí)應(yīng)使用潔凈室無(wú)塵布；

（2）、用90％去離子水和10％的異丙醇配置清潔劑；

（3）、使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室專用去污劑；

（4）、每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時(shí)清走。

（5）、每塊地板都要吸塵。每次交接班時(shí)，都應(yīng)在地圖上標(biāo)明工作完成情況，例如在哪結(jié)束從哪開(kāi)始。

（6）、清潔潔凈室的地面應(yīng)使用專用拖把。

（7）、在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過(guò)濾器的專用真空吸塵器。

（8）、所有的門都需要檢查并擦干

（9）、吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。

（10）、架空地板下也要吸塵及擦拭。

（11）、三個(gè)月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。

（12）、工作時(shí)一定要記住，永遠(yuǎn)是由上往下擦，從離門*遠(yuǎn)的地方向門的方向擦。

三、潔凈室的清潔程序

（1）、更換好專用防靜電服，戴好帽子、口罩，經(jīng)風(fēng)浴吸塵通道除塵后，進(jìn)入潔凈室。

（2）、準(zhǔn)備好清潔工具及用品并放置在規(guī)定地點(diǎn)后，開(kāi)始清潔工作。

（3）、撿拾地面垃圾，按生產(chǎn)線排列次序由里向外逐一進(jìn)行。

（4）、按時(shí)傾倒清運(yùn)垃圾桶、垃圾箱內(nèi)垃圾，并進(jìn)行檢查，按規(guī)定嚴(yán)格分類后，經(jīng)生產(chǎn)線管理員或保安檢查后運(yùn)送到指定的垃圾房

內(nèi)分類放置。

（5）、由上向下使用潔凈紙或無(wú)塵布清潔室內(nèi)玻璃、墻面、貨架、

（6）、使用潔凈塵推由里向外小心進(jìn)行地面推塵、保潔。地面有垃圾、污跡、水跡等及時(shí)用無(wú)塵布清潔干凈。

（7）、利用生產(chǎn)線員工休息就餐時(shí)間對(duì)生產(chǎn)線、工作臺(tái)下、坐椅下地面進(jìn)行清理。

（8）、定期清潔天花板、空調(diào)出風(fēng)口、頂燈隔罩、高架地板下,清潔程序和使用的材料必須申請(qǐng)廠務(wù)部批準(zhǔn)，并利用節(jié)假日及休工間

隙按計(jì)劃進(jìn)行。

（9）、潔凈室地面打蠟需嚴(yán)格按計(jì)劃及清潔程序進(jìn)行，必須使用防靜電蠟。

（10）、清潔工作完成后需將所有清潔用品收到指定清潔間，與普通工具區(qū)別存放，避免交叉污染，整齊擺放，不得隨意亂放在潔凈

室內(nèi)。

四、注意事項(xiàng)

（1）、必須丟棄膨松的頭罩、面罩、胡須罩、鞋罩和膠乳手套，決不可再次使用。

（2）、員工著裝、準(zhǔn)備工作要求。

（3）、不允許有私人物品，如大衣、帽子、錢包、鑰匙 。

（4）、員工應(yīng)當(dāng)更換針對(duì)帶來(lái)污染的衣服和飾品。

（5）、員工應(yīng)當(dāng)穿著無(wú)塵室兜帽、手套、兔皮服和襪子。破損或被污染的罩衫或罩袍應(yīng)當(dāng)立即更換。著裝應(yīng)符合規(guī)定的著裝步驟。

（6）、不允許有任何普通的紙墊、筆記本、手冊(cè)和寫字板；不允許有普通的書(shū)寫用鉛筆、鋼筆、橡皮、蠟筆或粉筆；筆記棉絨紙、塑料紙等類似的紙上，同時(shí)使用圓珠筆或其它不產(chǎn)生粉塵的用具；藍(lán)線印記、規(guī)格或其它說(shuō)明上應(yīng)當(dāng)覆有塑料膜、棉絨或其它不產(chǎn)生粉塵的用具。

清潔要求及檢查標(biāo)準(zhǔn)

1．地板每天一次使用真空吸拭及吸水專用拖把拖干凈

目視狀況不可有任何污漬及水痕

2．墻面每周一次墻面每周一次以燈光照不可有任何污漬及水痕

以燈光照不可有任何污漬水痕

3．室內(nèi)所有門窗及扶手玻璃每周一次以無(wú)塵布擦拭不可有塵埃

以燈光照不可有任何污漬及水痕

門把手、鐵鏈等金屬物不可生銹或污漬

4．電話、對(duì)講機(jī)、滅火器每周一次以無(wú)塵布擦拭不可有塵埃

目視狀況下不可有污漬

5．垃圾桶每天二次

定時(shí)清理垃圾及更換垃圾袋

垃圾高度不可超出桶高

6．腳踏墊不定時(shí)換新及補(bǔ)充

不可太臟致無(wú)法使用（嚴(yán)重臟污或無(wú)粘性）有臟污隨時(shí)更新

7．樓梯間每天一次

地板使用di水專用拖把拖干凈

目視善不可有污漬及化學(xué)品、紙箱等殘留

以無(wú)塵布擦拭不可有塵埃

8．無(wú)塵衣不銹架個(gè)人無(wú)塵衣架每天二次以無(wú)塵布擦拭不可有塵埃

個(gè)人衣柜上不可放置任何物品

9．物料進(jìn)出拆卸區(qū)每天二次地板以真空吸拭及拖把擦拭干凈不可有紙箱及化學(xué)品等滯留

門板、墻板以無(wú)塵布擦拭不可有污漬及塵埃

10．更衣室無(wú)塵衣無(wú)塵鞋不定時(shí)不定時(shí)整理及分類擺放定位不可有非相關(guān)性物品滯留無(wú)塵衣、鞋每周進(jìn)行一次更換作業(yè)及點(diǎn)收以無(wú)塵布擦拭不可有塵埃，地板以真空吸拭及專用拖把擦拭干凈耗材如口、發(fā)罩，手套等物品不定時(shí)補(bǔ)充

11．鞋柜區(qū)每天一次用吸水專用拖把擦拭干凈，墻板不可有任何污漬痕

鞋柜以無(wú)塵布擦拭干凈，墻板不可有除臭擠以外之異味

12清潔用品工具儲(chǔ)存區(qū)每周一次外柜以無(wú)塵布擦拭不可有任何塵埃

內(nèi)部用具是否清潔，擺放整齊無(wú)污漬

13．洗塵室每天一次以無(wú)塵布擦拭不可有塵埃

目視不可有污漬及水痕

14．回風(fēng)室每周一次回風(fēng)室每周固定一用吸塵器及吸水專用拖把使用真空吸拭及吸水專用拖把拖干凈

目視狀況下不可有污漬及水痕

進(jìn)入無(wú)塵車間注意事項(xiàng)：

1、在潔凈室內(nèi)走動(dòng)時(shí)動(dòng)作宜輕不得奔跑，以避免影響層流。

2、在潔凈室內(nèi)工作，若暫停操作時(shí)不可以脫口罩及手套做短暫休息。

3、進(jìn)入潔凈室時(shí)須先經(jīng)過(guò)洗塵室。

4、進(jìn)入潔凈室工作人員必須穿著合身之無(wú)塵衣服及鞋子。

5、設(shè)備維修如有必要坐、臥或躺時(shí)，須于地上鋪上專有之塑料布。

6、脫除無(wú)塵衣須先脫除：口罩、無(wú)塵鞋、無(wú)塵衣、發(fā)罩、手套、并依標(biāo)示分類擺放或丟棄。

7、口罩的正確扣戴方式是以無(wú)塵衣頭罩后面上方扣帶扣戴。

8、潔凈室工作人員不可攜帶非無(wú)塵筆記本進(jìn)入潔凈室。

9、潔凈室內(nèi)不得使用鉛筆、書(shū)寫一律使用原子筆，書(shū)寫錯(cuò)誤時(shí)也不可以用修正液修改。

10、著無(wú)塵衣之要**遮口遮鼻、頭發(fā)不得外露、衣袖、口須包住手套口、避免手腕外露。

11、潔凈室內(nèi)高架地板不可隨意拉啟，以免影響層流及人員**。

12、著裝完后，不可進(jìn)入監(jiān)控室。

13、進(jìn)入晶圓區(qū)工作同人均不得使用化妝品（如口紅、腮紅、香水等）。

14、進(jìn)入洗塵室注意事項(xiàng)：不可并行，兩人身體須保持30公分以上，雙手插腰，慢速通過(guò)，嚴(yán)禁奔跑。

15、降低微塵之方法是：保持頭、手、身上干凈。

16、于洗塵室內(nèi)洗塵時(shí)，兩人身體前后須保持30公分以上。

17、穿著無(wú)塵衣之前需先扎好頭發(fā)然后戴上發(fā)罩。

18、人是潔凈室*大污染源。

19、著無(wú)塵衣之*后一個(gè)動(dòng)作是檢查服裝。

20、下列文具不是潔凈室專用：水性簽字筆、鉛筆、修正液、影印紙。

21、進(jìn)入潔凈區(qū)所有人員均不得食用任何東西（如：口香糖）

22、任何人不得把于工作無(wú)關(guān)、不能帶入潔凈室的物品放在無(wú)塵衣的袋子里。

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